当时，英特尔投资了41亿美元，交易有效期为5年，英特尔将拥有ASML 15%的股份，同时为ASML的研发项目投资33亿美元。
三星则投资了2.76亿欧元用来支持ASML研发下一代芯片制造技术，另外用5.03亿欧元购买了3%的股份，共计7.79亿欧元（约9.75亿美元）。
台积电也投资了14亿美元。当时三家公司三所占ASML的股份合起来大约是23%，金额达到38.5亿欧元。
之后，三家公司逐渐卖出了他们在ASML的股份。去年12月，AFM称英特尔的股份已低于5%。
最初ASML的研发计划包括450mm晶圆光刻系统和EUV光刻机系统。在发现450mm晶圆的道路上行不通后，ASML于2013年11月决定“暂停450mm光刻系统的开发直到看到客户及市场在这一领域有明确的需求”。
EUV光刻机的研发过程也充满坎坷，直到去年之前，业界甚至一直怀疑这是否是正确而必要的方向。Susquehanna Financial Group分析师Mehdi Hosseini去年在一份报告中指出，现在业界的争论已经从EUV的HVM（大批量生产）能力转变为EUV将要插入的关键层数。
Mehdi Hosseini认为这是EUV技术商业化的进展速度就是如此，2020年之前ASML有望出货45~50台EUV光刻机系统。
根据ASML 2018年一、二季财报显示，一季度中国大陆市场光刻机销售占比20%，二季度中占比19%，与美国市场基本持平，并且超过了中国台湾地区。预计2018年EUV光刻机的产量20台，2019年产能可提升到30台，到2020年EUV光刻机的产能可进一步上升到40台。
ASML的长期投资者无论如何是赚翻了。自英特尔、三星、台积电注资ASML以来，以欧洲证券交易所交易的以欧元计价的普通股在本周四飙升近180%，不包括股息并进行了回购调整。
不过，台积电在2015年12月31日之前出售了其所有的ASML股票。那时，股票价格已经比每股39.91欧元的原始认购价格翻了一倍多。
三星在2016年9月以每股96.23欧元的价格出售了其手中一半的股份，比认购价格高出141%。
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